ພາລະບົດບາດສໍາຄັນຂອງ Tungsten Filament ໃນການຜະລິດ Semiconductor: ຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື
ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ກະດູກສັນຫຼັງຂອງເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ທັນສະໄຫມ, ດໍາເນີນການຢ່າງບໍ່ຢຸດຢັ້ງວັດສະດຸທີ່ສາມາດທົນກັບສະພາບທີ່ຮຸນແຮງແລະເຮັດໃຫ້ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງກ້ອງຈຸລະທັດ. ໃນບັນດາເຫຼົ່ານີ້, tungsten ແລະຮູບແບບພິເສດຂອງມັນ, ເຊັ່ນ: filament tungsten ແລະພາກສ່ວນສະຫນັບສະຫນູນ tungsten, ໄດ້ກາຍເປັນອົງປະກອບທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນຂະບວນການຜະລິດທີ່ສໍາຄັນ.
ເປັນຫຍັງ Tungsten?
Tungsten ມີຄຸນສົມບັດປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກທີ່ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງຂອງການຜະລິດ semiconductor. ດ້ວຍຈຸດລະລາຍທີ່ສູງທີ່ສຸດຂອງໂລຫະທັງໝົດ (3,422 ອົງສາ), ຄວາມທົນທານຂອງອຸນຫະພູມ-ສູງພິເສດ, ແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການເຊາະເຈື່ອນແລະການເຊາະເຈື່ອນຢ່າງໂດດເດັ່ນ, ອົງປະກອບ tungsten ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງທີ່ວັດສະດຸອື່ນໆຈະລົ້ມເຫລວ. ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືນີ້ແມ່ນສໍາຄັນ
Tungsten ມີຄຸນສົມບັດປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກທີ່ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງຂອງການຜະລິດ semiconductor. ດ້ວຍຈຸດລະລາຍທີ່ສູງທີ່ສຸດຂອງໂລຫະທັງໝົດ (3,422 ອົງສາ), ຄວາມທົນທານຂອງອຸນຫະພູມ-ສູງພິເສດ, ແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການເຊາະເຈື່ອນແລະການເຊາະເຈື່ອນຢ່າງໂດດເດັ່ນ, ອົງປະກອບ tungsten ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງທີ່ວັດສະດຸອື່ນໆຈະລົ້ມເຫລວ. ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືນີ້ແມ່ນສໍາຄັນ
ສໍາລັບການຮັບປະກັນຜົນຜະລິດທີ່ສອດຄ່ອງແລະການປະຕິບັດອຸປະກອນ.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ສໍາຄັນ: Tungsten Filament ແລະສ່ວນສະຫນັບສະຫນູນ
ຫນຶ່ງໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ສໍາຄັນແມ່ນ filament tungsten. ໃນຂະບວນການຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການຖິ້ມອາຍອາຍທາງກາຍ (PVD) ແລະການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD), ເສັ້ນໃຍ tungsten ຈະຖືກໃຫ້ຄວາມຮ້ອນກັບອຸນຫະພູມທີ່ສູງທີ່ສຸດເພື່ອລະເຫີຍຫຼືທໍາລາຍທາດອາຍຜິດຄາຣະວາ. ນີ້ອະນຸຍາດໃຫ້ສໍາລັບການຝາກຊັດເຈນຂອງຮູບເງົາບາງໆໃສ່ wafers ຊິລິໂຄນ. ຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມບໍລິສຸດຂອງ filament tungsten ແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດ, ເນື່ອງຈາກວ່າການປ່ຽນແປງຫຼືການປົນເປື້ອນສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າຂອງຮູບເງົາທີ່ຝາກໄວ້.
ນອກເຫນືອຈາກ filaments, ພາກສ່ວນສະຫນັບສະຫນູນ tungsten ແມ່ນຢູ່ທົ່ວທຸກແຫ່ງພາຍໃນອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ semiconductor. ສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ລວມມີເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, ໄສ້ລັງສີ, ຕົວດູດ, ແລະອຸປະກອນຕ່າງໆພາຍໃນເຕົາອົບອຸນຫະພູມ{1}ສູງ ແລະຫ້ອງແກະສະຫຼັກ. ພາກສ່ວນສະຫນັບສະຫນູນ tungsten ເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນກົນຈັກ unwavering ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນໃນຂະນະທີ່ການຫຼຸດຜ່ອນການຜະລິດອະນຸພາກ, ຊຶ່ງເປັນສາເຫດຕົ້ນຕໍຂອງການຜິດປົກກະຕິ wafer.
ສະຫຼຸບ
ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ກ້າວໄປສູ່ໂຫນດທີ່ນ້ອຍລົງແລະສະຖາປັດຕະຍະກໍາ 3D ທີ່ສັບສົນຫຼາຍ, ບົດບາດຂອງວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ ({1}}) ກາຍເປັນຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍຂຶ້ນ. filament tungsten ສໍາລັບການ deposition ຊັດເຈນແລະພາກສ່ວນສະຫນັບສະຫນູນ tungsten ຕ່າງໆພາຍໃນຫ້ອງຂະບວນການແມ່ນພື້ນຖານເພື່ອບັນລຸລະດັບທີ່ກໍານົດໄວ້ຂອງການປະຕິບັດແລະການ miniaturization.
