ໃນໂລກທີ່ສັບສົນຂອງການຜະລິດ semiconductor, ບ່ອນທີ່ການຫມູນໃຊ້ຂອງສານເກີດຂຶ້ນໃນລະດັບປະລໍາມະນູ, ການປູກຝັງ ion ຢືນເປັນເຕັກໂນໂລຊີ cornerstone. ຂະບວນການນີ້, ທີ່ຊັດເຈນ bombards wafers ຊິລິໂຄນກັບ dopant ions ປັບຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າຂອງເຂົາເຈົ້າ, ອີງໃສ່ຈຸດເລີ່ມຕົ້ນທີ່ສໍາຄັນ: ການສ້າງ beam ion ບໍລິສຸດ, ຫມັ້ນຄົງ. ຈຸດໃຈກາງຂອງແຫຼ່ງທາດໄອອອນ-ເຄື່ອງຈັກຂອງລະບົບສະລັບສັບຊ້ອນນີ້-ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ປະກອບດ້ວຍຄວາມຢືດຢຸ່ນພາຍໃຕ້ສະພາບທີ່ຮຸນແຮງ: ເສັ້ນໃຍ Tungsten.
ໃນຄວາມເປັນຈິງ, ສາຍລວດທີ່ຖ່ອມຕົວນີ້ແມ່ນຄວາມມະຫັດສະຈັນຂອງວິທະຍາສາດວັດສະດຸ. ສະພາບແວດລ້ອມການປູກຝັງໄອອອນແມ່ນເປັນສັດຕູກັນຢ່າງໂຫດຮ້າຍ: ພວກມັນປະສົມຄວາມຮ້ອນ, ສານເຄມີທີ່ກັດກ່ອນຈາກແກັສເຊັ່ນ BF₃ ຫຼື PH₃, ແລະການລະເບີດຂອງອະນຸພາກຄົງທີ່. filament, ມັກຈະເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນ cathode, ຕ້ອງໄດ້ຮັບການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ incandescence ເພື່ອປ່ອຍອິເລັກຕອນທີ່ຈໍາເປັນເພື່ອ ignite ແລະຮັກສາ plasma ໄດ້. ຄວາມລົ້ມເຫຼວທີ່ນີ້ນໍາໄປສູ່ຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບຂອງ beam, ການປົນເປື້ອນຂອງໂລຫະ, ແລະການຢຸດເຊົາການຜະລິດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ.
ເປັນຫຍັງ tungsten ຈຶ່ງປົກຄອງສູງສຸດສໍາລັບບົດບາດນີ້? ຄໍາຕອບແມ່ນຢູ່ໃນຄຸນສົມບັດທີ່ບໍ່ມີຕົວຕົນຂອງມັນ:
ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງສຸດ: ດ້ວຍຈຸດລະລາຍທີ່ສູງທີ່ສຸດຂອງໂລຫະທັງໝົດ (3422 ອົງສາ), ເສັ້ນໃຍ tungsten ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງເມື່ອສິ່ງອື່ນລົ້ມເຫລວ.
Superior Sputter Resistance: ມັນທົນທານຕໍ່ການເຊາະເຈື່ອນຈາກການລະເບີດໃນ plasma, ຮັບປະກັນຊີວິດທີ່ຍາວນານແລະ beams ion ທີ່ບໍລິສຸດ.
ການປ່ອຍອາຍພິດເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ດີເລີດ: ຄຸນສົມບັດດ້ານຄວາມຮ້ອນຂອງມັນແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການສ້າງກະແສໄຟຟ້າທີ່ສອດຄ່ອງທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບການຜະລິດ plasma ທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ໂດຍສະເພາະໃນແຫຼ່ງ Cathode ຄວາມຮ້ອນທາງອ້ອມ (IHC).
ຄວາມຮຽກຮ້ອງຕ້ອງການຂອງ-ຊິບລຸ້ນຕໍ່ໄປ, ລວມທັງເຄື່ອງໃຊ້ສຳລັບອຸປະກອນໄຟຟ້າຊິລິຄອນຄາໄບ (SiC) ແລະ ແກລຽມ nitride (GaN), ຊຸກຍູ້ເທັກໂນໂລຢີການປູກຝັງຕື່ມອີກ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບອົງປະກອບແຫຼ່ງປະສິດທິພາບຫຼາຍ, ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ສູງ. ເສັ້ນໃຍ tungsten ໄດ້ພັດທະນາຈາກເສັ້ນລວດແບບງ່າຍດາຍໄປສູ່ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງເຄື່ອງບໍລິໂພກແບບວິສະວະກໍາ, ດ້ວຍຄວາມກ້າວຫນ້າໃນການຄວບຄຸມໂຄງສ້າງເມັດພືດແລະ doping (ເຊັ່ນ: ດ້ວຍ-ແຜ່ນດິນເຜົາທີ່ຫາຍາກ) ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມທົນທານແລະປະສິດທິພາບການປ່ອຍອາຍພິດຂອງມັນ.
ການຈັດຫາພາລະກິດເຫຼົ່ານີ້-ອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນຕ້ອງການຄູ່ຮ່ວມງານທີ່ມີຄວາມຊໍານານດ້ານໂລຫະເລິກແລະຄວາມມຸ່ງຫມັ້ນໃນຄວາມແມ່ນຍໍາ. ສໍາລັບຫຼາຍກວ່າສອງທົດສະວັດ, Zhuzhou Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd (W / Mo ນັບຕັ້ງແຕ່ 2004) ໄດ້ເປັນຊື່ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ໃນໂລຫະ refractory ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານ. ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນຜະລິດຕະພັນ tungsten ແລະ molybdenum, Kingdon ສະຫນອງອຸປະກອນທີ່ສູງ-ຄວາມບໍລິສຸດ, ຜະລິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການເຊັ່ນ: ການຝັງຕົວຂອງ ion.
ສໍາລັບວິສະວະກອນ ແລະຜູ້ຊ່ຽວຊານດ້ານການຈັດຊື້ທີ່ຊອກຫາອົງປະກອບຂອງແຫຼ່ງ ion ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ລວມທັງ-ເສັ້ນໃຍ tungsten ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, Zhuzhou Kingdon ສະເຫນີຄວາມຊໍານານທີ່ໄດ້ຮັບການພິສູດແລະຄວາມດີເລີດດ້ານການຜະລິດ.
Zhuzhou Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd (W/Mo ຕັ້ງແຕ່ 2004)
ເພີ່ມ: No.9 Road of Zhongda, High-Tech Industrial park, Zhuzhou, Hunan, China
ໂທ: +86-731 28470377 / 22868227
ແຟັກ: +86-731 28410491
ເວັບໄຊຕ໌:www.kdmet.com
